上市公司有智光电气、飞凯材料、南大光电和蓝英装备。光刻机，英文名Mask Aligner，又名掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统，是制造芯片的核心装备，主要厂商有ASML、尼康、佳能、欧泰克、上海微电子装备、SUSS、ABM Inc。