真空回流炉选用旋片式真空泵或罗茨真空泵，这两种泵都能够提供较高的真空度（10^-3 Pa级）以满足回流炉工艺的要求。旋片式真空泵具有结构简单、运行稳定、价格低廉的优点，但其抽速较低，且易受油蒸汽污染。罗茨真空泵具有抽速高、无油污染的优点，但其价格相对较高，且结构较为复杂。通常，对于小型回流炉，通常采用旋片式真空泵；对于大型回流炉，通常采用罗茨真空泵或旋片式真空泵与罗茨真空泵串联使用。